Low Profile Process Kit

WO2009132181 Art A2 29. Oktober 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009132181
Aktenzeichen
EP09735451
Anmeldetag
23. April 2009
Veröffentlichung
29. Oktober 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/683H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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