Radiation-sensitive resin composition, laminate and method for producing the same, and semiconductor device

WO2009133843 Art A1 5. November 2009

Anmelder: Zeon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009133843
Aktenzeichen
EP09738780
Anmeldetag
27. April 2009
Veröffentlichung
5. November 2009
Rechtsraum
WO
IPC
C08L101/00C08K5/00C08L63/00H01L21/312
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Zeon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

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