Method of reducing erosion of a metal cap layer during via patterning in semiconductor devices

WO2009134386 Art A1 5. November 2009

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009134386
Aktenzeichen
EP09739189
Anmeldetag
30. April 2009
Veröffentlichung
5. November 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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