Method and apparatus for fabricating optoelectromechanical devices by structural transfer using re-usable substrate

WO2009135078 Art A2 5. November 2009

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009135078
Aktenzeichen: EP09739880
Anmeldetag: 30. April 2009
Veröffentlichung: 5. November 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/042

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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