Method for growing single crystal and apparatus for pulling up single crystal

WO2009136464 Art A1 12. November 2009

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009136464
Aktenzeichen
EP09742589
Anmeldetag
24. März 2009
Veröffentlichung
12. November 2009
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C30B15/00C30B15/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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