Pattern forming method

WO2009139448 Art A1 19. November 2009

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009139448
Aktenzeichen: EP09746654
Anmeldetag: 14. Mai 2009
Veröffentlichung: 19. November 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B29C59/02G11B5/84H01L21/027B29L11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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