Methods for improving the quality of group iii-nitride materials and structures produced by the methods

WO2009139793 Art A1 19. November 2009

Anmelder: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies, Arizona Board Of Regents For And On Behalf Of Arizona State University 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009139793
Aktenzeichen
EP08874318
Anmeldetag
14. November 2008
Veröffentlichung
19. November 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Arizona Board Of Regents For And On Behalf Of Arizona State University
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies

S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies war ein französischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern für die Halbleiterindustrie, das heutige Unternehmen firmiert als Soitec. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente und Waferbondverfahren.

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