Computer-implemented methods, carrier media, and systems for selecting polarization settings for an inspection system
WO2009140411
Art A2
19. November 2009
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009140411
- Aktenzeichen
- EP09747494
- Anmeldetag
- 13. Mai 2009
- Veröffentlichung
- 19. November 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/88G01B11/30G01N21/47
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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