Polishing pad with endpoint window and systems and method using the same

WO2009140622 Art A2 19. November 2009

Anmelder: 3M Innovative Properties Company, Semiquest, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009140622
Aktenzeichen: EP09747703
Anmeldetag: 15. Mai 2009
Veröffentlichung: 19. November 2009
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/04B24D13/14H01L21/304B24B49/12

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: 3M Innovative Properties Company
Semiquest, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

17.127 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von