Discontinuous switching flow control method of fluid using pressure type flow controller

WO2009141947 Art A1 26. November 2009

Anmelder: Fujikin Incorporated, National University Corporation Tohoku Unversity, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009141947
Aktenzeichen: EP09750309
Anmeldetag: 10. März 2009
Veröffentlichung: 26. November 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06G01F1/00G01F1/42G01F7/00G05D16/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fujikin Incorporated
National University Corporation Tohoku Unversity
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von