Single crystal manufacturing apparatus

WO2009141963 Art A1 26. November 2009

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009141963
Aktenzeichen
EP09750325
Anmeldetag
24. April 2009
Veröffentlichung
26. November 2009
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/00C30B15/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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