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WO2009142133 Art A1 26. November 2009

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009142133
Aktenzeichen: EP09750495
Anmeldetag: 13. Mai 2009
Veröffentlichung: 26. November 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68B05C13/02B65G49/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von

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