Alicyclic structure-containing compound, (meth)acrylate, (meth)acrylic polymer and positive resist composition containing the (meth)acrylic polymer

WO2009142142 Art A1 26. November 2009

Anmelder: Idemitsu Kosan Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009142142
Aktenzeichen: EP09750504
Anmeldetag: 14. Mai 2009
Veröffentlichung: 26. November 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C07C69/63C07C67/10C07C69/54C08F20/28G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Idemitsu Kosan Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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