Vacuum processing apparatus

WO2009142197 Art A1 26. November 2009

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Sinfonia Technology Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009142197
Aktenzeichen: EP09750559
Anmeldetag: 19. Mai 2009
Veröffentlichung: 26. November 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68B65G49/06B65G49/07H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Sinfonia Technology Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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