Method for cleaning with fluorine compound

WO2009142281 Art A1 26. November 2009

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited, NTT Advanced Technology Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009142281
Aktenzeichen: EP09750643
Anmeldetag: 21. Mai 2009
Veröffentlichung: 26. November 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Asahi Glass Company, Limited
NTT Advanced Technology Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von