Software application to analyze event log and chart tool fail rate as function of chamber and recipe

WO2009143031 Art A2 26. November 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009143031
Aktenzeichen: EP09751260
Anmeldetag: 15. Mai 2009
Veröffentlichung: 26. November 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G06F15/16G06F17/30G06F17/00G06F3/048G06F9/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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