Electrical and optical system and methods for monitoring erosion of electrostatic chuck edge bead materials

WO2009143350 Art A2 26. November 2009

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009143350
Aktenzeichen: EP09751578
Anmeldetag: 21. Mai 2009
Veröffentlichung: 26. November 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H01L21/687H01L21/66H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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