Bipolar pulse power source and power source device formed by a plurality of bipolar pulse power sources

WO2009145091 Art A1 3. Dezember 2009

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009145091
Aktenzeichen: EP09754599
Anmeldetag: 20. Mai 2009
Veröffentlichung: 3. Dezember 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H02M7/48C23C14/34H02M7/5387

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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