Micro electro mechanical device package and method of manufacturing a micro electro mechanical device package

WO2009145726 Art A1 3. Dezember 2009

Anmelder: Agency for Science, Technology And Research, Silicon Quest, Inc. 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009145726
Aktenzeichen
EP08767277
Anmeldetag
28. Mai 2008
Veröffentlichung
3. Dezember 2009
Rechtsraum
WO
IPC
B81B7/02H01L23/043
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Agency for Science, Technology And Research
Silicon Quest, Inc.
Land
🇸🇬 Singapur
🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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