Recoilless voice coil actuator and method

WO2009145965 Art A1 3. Dezember 2009

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009145965
Aktenzeichen: EP09755328
Anmeldetag: 13. März 2009
Veröffentlichung: 3. Dezember 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H02K41/02H02K33/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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