Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen einer Optischen Eigenschaft eines Optischen Systems

WO2009146855 Art A1 10. Dezember 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009146855
Aktenzeichen: EP09757238
Anmeldetag: 29. Mai 2009
Veröffentlichung: 10. Dezember 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G01M11/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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