Probe wafer, probe apparatus, and test system

WO2009147717 Art A1 10. Dezember 2009

Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009147717
Aktenzeichen
EP08764981
Anmeldetag
2. Juni 2008
Veröffentlichung
10. Dezember 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G01R1/073G01R31/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Advantest Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

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