Stage with alignment function, treatment device equipped with stage with the alignment function, and substrate alignment method

WO2009148070 Art A1 10. Dezember 2009

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009148070
Aktenzeichen: EP09758337
Anmeldetag: 3. Juni 2009
Veröffentlichung: 10. Dezember 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683B23Q1/01B65G49/06B65G49/07H01L21/304H01L21/68B05C13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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