Surface position detecting apparatus, exposure apparatus, surface position detecting method, and device manufacturing method

WO2009148185 Art A1 10. Dezember 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009148185
Aktenzeichen: EP09758452
Anmeldetag: 3. Juni 2009
Veröffentlichung: 10. Dezember 2009
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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