Preparation of lanthanide-containing precursors and deposition of lanthanide-containing films

WO2009149372 Art A1 10. Dezember 2009

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009149372
Aktenzeichen
EP09759530
Anmeldetag
5. Juni 2009
Veröffentlichung
10. Dezember 2009
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/18C23C16/40C07C257/14C07F17/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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