Apparatus and method for the treatment of semiconductor substrates

WO2009150226 Art A2 17. Dezember 2009

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Intega GmbH 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009150226
Aktenzeichen: EP09761788
Anmeldetag: 12. Juni 2009
Veröffentlichung: 17. Dezember 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Intega GmbH
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von