Apparatus for forming semiconductor wafer protection film

WO2009150919 Art A1 17. Dezember 2009

Anmelder: Sintokogio, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009150919
Aktenzeichen: EP09762349
Anmeldetag: 14. Mai 2009
Veröffentlichung: 17. Dezember 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/56H01L21/312

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sintokogio, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sintokogio, Ltd.

Japanischer Hersteller von Gießerei- und Industrieanlagen (Formmaschinen, Oberflächenbehandlungstechnik) mit Sitz in Nagoya. Patente betreffen Gieß- und Fertigungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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