Method for manufacturing silicon single crystal wafer, and silicon single crystal wafer

WO2009151077 Art A1 17. Dezember 2009

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009151077
Aktenzeichen
EP09762507
Anmeldetag
10. Juni 2009
Veröffentlichung
17. Dezember 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/322
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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