Supramolecular block copolymer compositions for sub-micron lithography

WO2009151834 Art A2 17. Dezember 2009

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009151834
Aktenzeichen: EP09763125
Anmeldetag: 7. Mai 2009
Veröffentlichung: 17. Dezember 2009
Rechtsraum: WO
IPC: C08L33/12C08L25/18C08L25/08C08L71/02C08L35/08H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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