Method of measuring nitrogen atoms, device for measuring nitrogen atoms and plasma processing device
WO2009154037
Art A1
23. Dezember 2009
Anmelder: Mitsubishi Electric Corporation, Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009154037
- Aktenzeichen
- EP09766485
- Anmeldetag
- 17. April 2009
- Veröffentlichung
- 23. Dezember 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N31/00H05H1/00H05H1/24G01N21/35
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Mitsubishi Electric Corporation
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Electric
Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.
37.729 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.
940 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.