Seed light generating device, light source device and method for adjusting the same, optical irradiation device, exposure device, and device manufacturing method

WO2009154085 Art A1 23. Dezember 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009154085
Aktenzeichen: EP09766533
Anmeldetag: 4. Juni 2009
Veröffentlichung: 23. Dezember 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01S5/062G02F1/01G02F1/35G03F7/20H01L21/027H01S3/10H01S5/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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