Method for manufacturing plasma display panel and film forming apparatus

WO2009154130 Art A1 23. Dezember 2009

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009154130
Aktenzeichen: EP09766578
Anmeldetag: 11. Juni 2009
Veröffentlichung: 23. Dezember 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01J9/02C23C14/08C23C14/24C23C14/54H01J11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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