Automated determination of height and tilt of a substrate surface within a lithography system

WO2009154965 Art A2 23. Dezember 2009

Anmelder: The Research Foundation of State University of New York 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009154965
Aktenzeichen: EP09767277
Anmeldetag: 27. Mai 2009
Veröffentlichung: 23. Dezember 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Research Foundation of State University of New York
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Research Foundation of State University of New York

The Research Foundation of State University of New York verwaltet Forschungsergebnisse und Patente des SUNY-Hochschulsystems in den USA. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um organische Chemie. Anmeldungen liegen im Zeitraum 2000 bis 2015.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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