Thermally activated micromirror and fabrication method

WO2009155968 Art A1 30. Dezember 2009

Anmelder: Ecole Polytechnique Fédérale De Lausanne (EPFL) 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009155968
Aktenzeichen
EP08761332
Anmeldetag
24. Juni 2008
Veröffentlichung
30. Dezember 2009
Rechtsraum
WO
IPC
G02B26/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ecole Polytechnique Fédérale De Lausanne (EPFL)
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 École Polytechnique Fédérale de Lausanne

Schweizer technische Hochschule und Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Naturwissenschaften.

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