Nitrogen radical generator, nitriding treatment apparatus, nitrogen radical generating method, and nitriding treatment method
WO2009157060
Art A1
30. Dezember 2009
Anmelder: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009157060
- Aktenzeichen
- EP08765815
- Anmeldetag
- 24. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 30. Dezember 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/31H01L21/318
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.
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