Method of producing abrasive head and abrasive apparatus
WO2009157137
Art A1
30. Dezember 2009
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Fujikoshi Machinery Corp. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2009157137
- Aktenzeichen
- EP09769847
- Anmeldetag
- 2. Juni 2009
- Veröffentlichung
- 30. Dezember 2009
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304B24B37/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Fujikoshi Machinery Corp. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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