Method of producing abrasive head and abrasive apparatus

WO2009157137 Art A1 30. Dezember 2009

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Fujikoshi Machinery Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009157137
Aktenzeichen
EP09769847
Anmeldetag
2. Juni 2009
Veröffentlichung
30. Dezember 2009
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B24B37/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Fujikoshi Machinery Corp.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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