Titanium complex, method for production of the complex, titanium-containing thin film, and method for production of the thin film

WO2009157326 Art A1 30. Dezember 2009

Anmelder: Tosoh Corporation, Sagami Chemical Research Institute 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2009157326
Aktenzeichen
EP09770036
Anmeldetag
12. Juni 2009
Veröffentlichung
30. Dezember 2009
Rechtsraum
WO
IPC
C07C211/65B01J21/06B01J35/02C07C209/54C07C209/66C07C251/08C23C16/18H01L21/312H01L21/8242H01L27/108C07F7/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Tosoh Corporation
Sagami Chemical Research Institute
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie Verfahrens- & Trenntechnik

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