Piezoelectric aln rf mem switches monolithically integrated with aln contour-mode resonators

WO2009158141 Art A1 30. Dezember 2009

Anmelder: The Trustees of The University of Pennsylvania 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2009158141
Aktenzeichen: EP09770676
Anmeldetag: 1. Juni 2009
Veröffentlichung: 30. Dezember 2009
Rechtsraum: WO
IPC: H01L41/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Trustees of The University of Pennsylvania
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Pennsylvania

Private US-amerikanische Forschungsuniversität in Philadelphia, gegründet 1740. Bekannt für Forschung in Medizin, Biotechnologie und Ingenieurwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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