Coating system and method for coating a substrate

WO2010000503 Art A1 7. Januar 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc., Applied Materials Inc., A Corporation Of The State Of Delaware 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010000503
Aktenzeichen: EP09772203
Anmeldetag: 16. März 2009
Veröffentlichung: 7. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Applied Materials Inc., A Corporation Of The State Of Delaware
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von