High aspect ratio microstructure and method of fabricating the same and high aspect ratio microstructure array and method of fabricating the same

WO2010002045 Art A1 7. Januar 2010

Anmelder: Korea Advanced Institute of Science and Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010002045
Aktenzeichen: EP08778535
Anmeldetag: 1. Juli 2008
Veröffentlichung: 7. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: B82B3/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Advanced Institute of Science and Technology
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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