Backside mounted electrode carriers and assemblies incorporating the same

WO2010002722 Art A2 7. Januar 2010

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010002722
Aktenzeichen: EP09774173
Anmeldetag: 26. Juni 2009
Veröffentlichung: 7. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/38H05H1/34H05H1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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