Method for manufacture of touch panel, and film formation apparatus

WO2010004937 Art A1 14. Januar 2010

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010004937
Aktenzeichen: EP09794382
Anmeldetag: 3. Juli 2009
Veröffentlichung: 14. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/08C23C14/34G06F3/041H01B5/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung

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