Cleaning apparatus, printing apparatus and cleaning method

WO2010004990 Art A1 14. Januar 2010

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010004990
Aktenzeichen: EP09794434
Anmeldetag: 7. Juli 2009
Veröffentlichung: 14. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: B05C11/10B05C5/00B41J2/165

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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