Printing device and film forming method

WO2010004995 Art A1 14. Januar 2010

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010004995
Aktenzeichen: EP09794439
Anmeldetag: 7. Juli 2009
Veröffentlichung: 14. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/20B05C5/00B05C11/10B05D1/26

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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