Inkjet printing device and jet quantity inspecting method

WO2010005011 Art A1 14. Januar 2010

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010005011
Aktenzeichen
EP09794455
Anmeldetag
8. Juli 2009
Veröffentlichung
14. Januar 2010
Rechtsraum
WO
IPC
G02B5/20B05C5/00B05C11/00B05D1/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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