Plasma processing device and plasma processing method

WO2010005070 Art A1 14. Januar 2010

Anmelder: Sumitomo Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010005070
Aktenzeichen: EP09794514
Anmeldetag: 10. Juli 2009
Veröffentlichung: 14. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/50H01L21/3065H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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