Systems and methods for updating valve cracking current in mass flow controllers

WO2010005601 Art A2 14. Januar 2010

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010005601
Aktenzeichen: EP09789431
Anmeldetag: 21. Januar 2009
Veröffentlichung: 14. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06G06F15/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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