Method for detection of oversized sub-resolution assist features
WO2010005700
Art A2
14. Januar 2010
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010005700
- Aktenzeichen
- EP09794899
- Anmeldetag
- 15. Juni 2009
- Veröffentlichung
- 14. Januar 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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