Passive Capacitively-Coupled Electrostatic (cce) Probe Arrangement For Detecting Plasma Instabilities in A Plasma Processing Chamber

WO2010005933 Art A2 14. Januar 2010

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010005933
Aktenzeichen: EP09795039
Anmeldetag: 7. Juli 2009
Veröffentlichung: 14. Januar 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01L21/205H01L21/3065H01L21/302

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von