Method for judging pass/fail of bonding, apparatus for judging pass/fail of bonding, and bonding apparatus

WO2010007702 Art A1 21. Januar 2010

Anmelder: Shinkawa Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010007702
Aktenzeichen
EP08876581
Anmeldetag
16. Dezember 2008
Veröffentlichung
21. Januar 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/60H01L21/607
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shinkawa Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shinkawa

Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.

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